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美國Siargo 氣體質(zhì)量流量計 MEMS流量傳感芯片 - MF3000系列

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質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)
全量程覆蓋（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
可測量多種氣體不需要特別修正
多種輸出信號可選
支持多種連接方式，易于安裝與使用

產(chǎn)品型號：: MF3000系列

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產(chǎn)品介紹

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量計 MEMS流量傳感芯片 MF3000系列描述：

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計采用旁路設(shè)計并使用本公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨特的時域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度，并使溫度效應(yīng)大幅降低。

MF3000系列氣體質(zhì)量流量計能直接測量氣體質(zhì)量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF3000測量范圍覆蓋（O~2）SLPM到（O~1500）SLPM，大工作壓力提高到0.8MPa。MF3000提供多種信號輸出，通過RS485或IC數(shù)字通訊接口可實現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)采集與設(shè)置，并可選擇NPN或PNP開關(guān)信號輸出。MF3000同時具備LED數(shù)字顯示和按鍵功能，允許用戶在現(xiàn)場調(diào)整或查詢流量計的參數(shù)。

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量計 MEMS流量傳感芯片 MF3000系列 產(chǎn)品特點：

質(zhì)量流量，時域傳感技術(shù)
全量程覆蓋（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM
全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
可測量多種氣體不需要特別修正
多種輸出信號可選

支持多種連接方式，易于安裝與使用

美國Siargo 氣體質(zhì)量流量計 MEMS流量傳感芯片 MF3000系列參數(shù)：